PiezoMotor Piezo LEGS® LT40线性压电执行器,亚纳米级分辨率电机驱动

• 可吸尘
• 非磁性
• 分辨率低至亚纳米级
• 40 牛顿力
• 自锁
• 无反向回馈

真正的直接线性驱动

采用的驱动技术为直驱，无需齿轮或丝杠即可产生直线运动。电机通过微步进方式运行，将完整的波形步进分解为亚纳米级的增量。速度范围从每秒纳米级到每秒毫米级，可在整个动态范围内无缝控制。此外，它在紧凑的机身内提供高输出力，实现40N的停滞力，重量仅为61克。
电机无背隙，在保持位置时无需耗电。
提供三种版本：标准不锈钢（A）适用于一般环境，非磁性版本（C）和非磁性真空版本（D）。
每个版本均提供M1或M2安装选项。

它非常适合半导体制造设备，用于晶圆切割与抛光、光刻、离子注入以及晶圆检测与计量。
PiezoMotor Piezo LEGS® LT40 用于医疗技术行业，用于药物递送系统、手术工具和机器人、诊断与成像设备以及医疗材料处理。

PiezoMotor Piezo LEGS® LT40线性压电执行器产品规格：

PiezoMotor Piezo LEGS® LT40线性压电执行器产品尺寸：