美国 Logosol 独立式晶圆预对准机 LPA1218-3
独立式晶圆预对准机
LPA1218-3
创新、高性能、一体化设计，无需外部控制器和互联电缆，同时保持即插即用兼容性
采用超低惯性无刷电机驱动，实现平滑、即时响应
先进的扫描电子器件能够检测透明、半透明和不透明物体，无需在不同晶圆尺寸之间进行机械重新定位
运动控制软件提供全面的常用命令集，确保与各种半导体平台的兼容性和接口能力
典型对准周期时间不到四秒，有助于实现最大系统吞吐量
LPA1218-3 技术规格
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 晶圆直径 | 300mm 至 320mm，450mm 至 470mm |
| 晶圆透光性 | 透明、半透明、不透明 |
| 方形基板 | 适用 |
| 晶圆处理方式 | 真空吸盘和顶针 |
| 对中精度 | 预对准机吸盘上 ±25µm |
| 角度精度（3σ） | 10000 CPR 编码器：不适用 24000 CPR 编码器：预对准机吸盘上 ±0.02° |
| 伺服轴数 | 三轴 |
| 主机通信 | RS232，以太网 |
| 最大初始晶圆偏移 | 12mm |
| 本体尺寸（宽 × 长 × 高） | 173mm × 404mm × 190mm |
| 占地面积兼容性 | LPA312-3、LPA812-3、LPA8ET-3、LPA12ET-3 |
| 重量 | 5.70kg |
| 设施要求 | 100-240VAC，50/60Hz，48VA 或 24VDC/2A；真空 12" Hg |
| 平边/缺口兼容性 | 符合 SEMI 标准 |
| 洁净度等级 | Class 1 |
| MTBF（平均无故障时间） | > 70,000 小时 |
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