Logosol LPA38-3独立式晶圆预对准器
Logosol LPA38-3独立式晶圆预对准器
创新型高性能一体化设计，无需外部控制器和连接线缆，同时保持与现有设备的直接替换兼容性。
- 采用超低惯量无刷电机驱动，实现平稳、快速响应的运动控制。
- 先进的扫描电子系统，可检测透明、半透明和不透明晶圆/基片，无需因不同晶圆尺寸而进行机械重新定位。
- 运动控制软件提供一套完整的常用指令，可兼容并连接多种半导体设备平台。
- 典型对准循环时间小于4秒，有助于实现最高系统生产效率。
技术参数
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 晶圆尺寸 | 3英寸、100mm、125mm、150mm、200mm |
| 晶圆透光性 | 透明、半透明、不透明 |
| 方形基片 | 支持 |
| 晶圆承载方式 | 真空吸盘和定位销 |
| 定中心精度 | 在预对准器吸盘上：±25 μm |
| 角度精度（3σ） | 10000 CPR编码器：预对准器吸盘上 ±0.04° |
| 24000 CPR编码器：预对准器吸盘上 ±0.02° | |
| 伺服轴数量 | 三轴 |
| 主机通信接口 | RS232、以太网（Ethernet） |
| 最大初始晶圆偏移量 | 12 mm |
| 设备尺寸（宽×长×高） | 173 mm × 267 mm × 190 mm |
| 兼容替代型号 | LPA26-3、LPA58-3、LPA4EH-3、LPA5EH-3、LPA6EH-3、LPA8EH-3 |
| 重量 | 5.00 kg |
| 电源要求 | 100–240 VAC，50/60 Hz，48 VA；或 24 VDC / 2 A |
| 真空要求 | 12英寸汞柱（12" Hg） |
| Flat/Notch兼容性 | 符合 SEMI 标准 |
| 洁净等级 | Class 1（1级洁净） |
| 平均无故障时间（MTBF） | 超过70,000小时 |
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