美国 Key High PEV-1-001 压电阀高精度真空气体流量控制阀

美国 Key High PEV-1-001压电阀电气体流量阀控制

主要高真空产品压电气体流量阀控制真空系统内的气体流量。PEV-1 结构紧凑，在几毫秒内响应，并为 PID 压力控制应用提供极其精确的气流。

Key High 的 PEV-1 需要 0-100 VDC 输入。阀门的阈值电压为20-30vdc，最大电压tage不超过100vdc。最大入口压力不应超过 50psig。

PEV-1 是一种故障安全（关闭）阀。如果断电，PEV-1 将保持关闭状态，直到电源恢复。

Key High 制造的所有阀门均使用 3 x 10-9 scc 的氦质谱仪进行泄漏测试，具有单气压差，没有可测量的泄漏。

特征

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主要高真空产品压电气体流量阀控制真空系统内的气体流量。PEV-1 结构紧凑，在几毫秒内响应，并为 PID 压力控制应用提供极其精确的气流。

Key High 的 PEV-1 需要 0-100 VDC 输入。阀门的阈值电压为20-30vdc，最大电压tage不超过100vdc。最大入口压力不应超过 50psig。

PEV-1 是一种故障安全（关闭）阀。如果断电，PEV-1 将保持关闭状态，直到电源恢复。

Key High 制造的所有阀门均使用 3 x 10-9 scc 的氦质谱仪进行泄漏测试，具有单气压差，没有可测量的泄漏。