PiezoMotor真空执行器半导体纳米级驱动电机Piezo LEGS® LTC450

PiezoMotor真空执行器半导体纳米级驱动电机Piezo LEGS® LTC450

450 牛顿的推力，适用于真空环境的直线执行器 Piezo LEGS® LTC450 具备纳米级的精度，其负载能力为 450 牛顿，行程长度为 20 毫米。半导体行业所需的亚纳米级精度

Vacuum capable 具备真空功能 450 N force 450 牛顿的力 Resolution down to sub-nanometer 分辨率可达到亚纳米级别 20 mm stroke 20 毫米的行程长度 Self-locking 自锁功能 No backlash 无背隙真正的直接线性驱动方式这种驱动技术属于直接驱动方式，也就是说，无需依靠齿轮或丝杠来产生线性运动。电机通过微步驱动来移动，即将一个完整的波形步长划分为纳米级的微小单位。其转速范围可从每秒纳米级到每秒毫米级不等，而且在整个转速范围内都可以实现无缝控制，无需改变驱动方式。这种驱动技术属于直接驱动方式，也就是说，无需依靠齿轮或丝杠来产生线性运动。电机通过微步驱动来移动，即将一个完整的波形步长划分为纳米级的微小单位。其转速范围可从每秒纳米级到每秒毫米级不等，而且在整个转速范围内都可以实现无缝控制，无需改变驱动方式。该装置采用直接驱动方式，没有反向间隙，能够实现亚纳米毫米级的精确微调。专为真空环境设计。其最大作用力超过 450 牛顿，这种断电锁定安全功能是该设计的固有特性。技术规格：Piezo LEGS® LTC450 重型直线执行器

参数	真空型 (B)	单位

类型

真空型

-

最大行程

20

mm

最大速度（取决于驱动器）

0.2

mm/s

最低速度（取决于驱动器）

1

μm/s*

堵转推力

450

N

保持力

>450

N

真空兼容

是（最高真空度 10⁻⁷ Torr）

-

非磁性

否

-

工作电压

42–49

V

功耗

300

mW/Hz

机械尺寸（长 × 高 × 深，带导轨和编码器）

不适用（N/A）

mm

机械尺寸（长 × 高 × 深，不带导轨和编码器）

98 × 50 × 50

mm

重量（配 50 mm 驱动杆）

1060

g

电机外壳材料

不锈钢

-

推荐工作温度

+10 ～ +70

°C

电机连接器

焊接电缆，配 JST O5SR-3S 接头

-

编码器连接器

—

-

电机运动分辨率

<1

nm

内置编码器

否

-

编码器分辨率

不适用（N/A）

μm

LTC450 的电机性能表现采用菱形波形（实线）和三角形波形（虚线）时的电机性能表现。完整步长指的是：当电机完成一个完整步进时，驱动杆移动的平均距离——也就是一个波形周期内的移动距离。

注意：应考虑 0.5 微米的标准偏差σ。所给出的数值均为 20ºC 条件下的典型值。控制电机运转

左侧为 PMD401 控制器，右侧为 PMD301 控制器。我们的电机控制单元有多种不同版本，既有适用于实验室使用的控制器和放大器，也有适合集成到原始设备制造商产品中的型号。对于那些希望自行开发驱动器电路的客户，我们也可以提供相应的驱动程序许可。

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