Ambrell感应加热器在镓晶片的生产上的应用

目标：加热石墨基座至1200℃，用于沉积镓砷化物，通过加热上面的碳石墨，然后将氦气吹扫过基座，镓砷化物可以沉积成一个晶圆，需要一个水冷的石英管和大约40升的氦气（每分钟），加热的过程精确度非常重要。

材料：碳石墨基座

温度：1200℃

应用：Ambrell15kw感应加热器，水冷石英管，氦气，4匝线圈

通过4英寸石英管每分钟吹扫40升的氦气

达到1200℃后保持45秒

可观察到晶圆的产生

频率：93khz