ASI LS线性位移台、ASI线性位移台、MS-8000载物台

关于MS-8000载物台 MS-8000载物台专配大型工业检测显微镜(如尼康L200/300系列或奥林巴斯MX51/61系列)设计。其开放式结构支持透射光照明系统,可配置玻璃板插片或多种大尺寸台面配件,包括用于半导体检测的真空晶圆吸盘。

该直流伺服电机载物台兼容两类驱动方案:小型精密防反向间隙齿轮电机,或可实现更高转速的直齿轮电机。系统同时支持选配高精度线性编码器,以满足不同场景的定位精度需求。

MS-2000 Specifications for Standard Configuration
X- and Y-axis range of travel 200 mm x 200 mm
X- and Y-axis resolution (encoder step) 22 nm
X- and Y-axis RMS repeatability < 700 nm
X- and Y-axis maximum velocity 7 mm/s
Max recommended load (*higher loads available upon request) 5 kg
 

MS-8000产品特点

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