美国Dover motion 显微镜载物台——XYMR™开放式框架
显微镜载物台——XYMR™开放式框架
高精度XY定位
XYMR™显微镜载物台能够为各种基于显微镜的应用实现自动、高精度的XY定位功能。它具有出色的平面度、直线度以及线性定位精度。
描述
这个显微镜载物台通过采用交叉滚子导轨以及经过精密磨削的丝杠,并搭配防背隙螺母,该产品能够实现极高的平面度、直线度以及线性定位精度。它还具备三件式结构。多佛XYR™系列该结构将机械部件的相互垂直关系体现在中央部分,从而实现了极低的整体高度。
由于XYMR™舞台的尺寸仅为1.2英寸,且拥有3英寸大的透明光圈,因此它能够与间距较近、数值孔径较高的物镜及聚光器一起使用。该舞台还配有实心顶部结构。为了简化布线,两个轴上都配备了螺旋锁定的D型微型15针连接器。需要注意的是,由于两个电机都安装在中央部分,因此它们会与下轴一同向同一方向移动。
期权
- 可选电机类型:步进电机
- 可选的反馈方式:旋转编码器
- 下载数据表以获取更多技术细节。
应用程序
XYMR显微镜载物台的应用包括晶圆、掩模及芯片的检测、细胞计数与分析,以及视频形貌测量。
设计特点
- 用于透射应用的3英寸直径透明光圈
- 超薄横截面
- 精密交叉滚子导轨
显微镜载物台——XYMR™开放式框架规格参数
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