EOPC SC-3 微型谐振扫描仪

特点与优势

• 单一固定频率：可在 100 Hz 至 1,000 Hz 范围内选择
• 光学扫描角度最高可达 50° 峰峰值
• 镜面尺寸最大可达 12 × 7 mm
• 支持垂直或水平安装
• 体积小、重量轻
• 驱动电子设备功耗低
• 结构坚固，无易磨损部件
• 免维护
• 高可靠性
• 可承受冲击和振动
• 高频率稳定性（最高可达 0.05%）
• 支持高温/低温运行¹
• 支持真空环境运行（最高可达 10⁻¹⁰ Torr）¹
• 无抖动运行
• 不产生辐射电磁干扰（EMI）
• 可提供镜面位置输出
• 标准配置采用带增强型铝膜的玻璃反射镜；可选红外（IR）和紫外（UV）镀膜¹

¹ 需特殊订购

产品选项

SC-3

标准型扫描器。尺寸（英寸）：0.9 × 0.5 × 0.4

SC-3-SH

短型扫描器。尺寸（英寸）：0.55 × 0.5 × 0.4

SC-3-A

高频型扫描器。尺寸（英寸）：0.55 × 0.5 × 0.4

SC-3-HF

高频、小镜面、小扫描角度型扫描器。尺寸（英寸）：0.55 × 0.5 × 0.4

产品说明

SC-3 型超小型固定频率谐振光学扫描器是一款非 MEMS、超小尺寸的机械式扫描器。它采用电磁驱动的运动反射镜结构，使光束进行连续的正弦运动偏转。反射镜组件安装在张紧的带簧中央。

SC-3 型扫描器以及尺寸更小的 SC-3-SH 型扫描器，其扫描频率范围为 100 Hz 至 1860 Hz，可在该范围内选择并固定在任意一个频率值。扫描角度与频率成反比，同时取决于反射镜尺寸。标准工作温度为 0°C 至 +55°C。其他温度范围以及真空环境运行均可根据要求提供。

器件具有较高的 Q 值，可确保频率稳定性，同时降低电驱动功率。较高的弯曲刚度使其具有良好的抗冲击和抗振动能力，同时具有较低的摆动、良好的扫描重复性。由于扫描器工作在自身固有谐振频率下，因此非常适合需要长寿命运行、良好成像效果以及最小失真的各种应用。

该扫描器尤其适用于专用型、大批量 OEM 工业应用，并且能够方便地集成到小型及便携式仪器中。

扫描器通过正反馈放大器型 ED 驱动器或 AGC 驱动器，使其持续工作在谐振频率下。AGC 驱动器可提供更高的振幅稳定性（0.01%）以及位置输出信号。

应用领域

可应用于：腔内 Q 开关、共聚焦显微镜、癌症诊断、眼科成像、自适应光学、X 射线技术、DNA 测序、脑部成像、认知识别检测、牙科、皮肤科、发育生物学、NDE/NDT（无损检测/无损评价）、肿瘤学、光学相干显微镜（OCM）高分辨率成像、激光扫描、图像及图案生成与识别、高分辨率打印、荧光显微镜、共聚焦显微镜、半导体成像、卷材检测、医学成像、质量检测、工艺验证、掩模检测、机器视觉，以及外太空和环境监测等领域。