Dover motion XY线性定位平台,单双轴线性定位台, SmartStage™ XY

Dover motion XY线性定位平台,单双轴线性定位台, SmartStage™ XY

SmartStage™ XY 一体式平台

SmartStage™ XY 一体式定位平台是一款低外形的 XY 线性电机平台,控制器物理内置于平台结构中,专为高精度定位设计。该平台采用刚性交叉滚柱轴承(crossed roller bearings)设计,以实现卓越性能。

Dover motion XY线性定位平台,单双轴线性定位台, SmartStage™ XY主要特点:

SmartStage™ XYM 一体式平台规格

参数 50mm 行程 75mm 行程
行程 50 mm 75 mm
位置反馈 – 编码器分辨率* 5 nm 5 nm
全程精度(2σ, μm)*¹ 10 μm 12 μm
双向重复性(2σ, μm) 0.8 μm 0.8 μm
回零重复性(μm) 1 μm 1 μm
最小移动步距(nm) 100 nm 100 nm
静止稳定性(± nm) 30 nm 30 nm
承载能力(kg)*² 10 kg 10 kg
最大加速度(m/s²)*³ 5 m/s² 5 m/s²
最大速度(m/s)*³ 0.7 m/s 0.8 m/s
平直度与直线度(μm TIR)*⁴ 3 μm 4 μm
总质量(kg) 2.95 kg 2.95 kg
移动质量 – 由下轴驱动(kg) 2.27 kg 2.27 kg
移动质量 – 由上轴驱动(kg) 0.94 kg 0.94 kg
Dover motion SmartStage™ XY线性电机平台一体式定位平台描述 Dover Motion SmartStage™ 一体式线性电机平台具有一个专门设计的单体中心,将上下轴连接在一起,使得平台具有更高的刚性和紧凑性,并且在轴之间实现了加工正交度。 硬件灵活性: 独特、紧凑的集成运动平台与迷你化控制器,并且只有一根合并的电源和通信电缆。 易于集成:在仪器内占用最小空间,减少了复杂性和零部件数量。 集成解决方案:可以选择将多个平台连接在一起,提供更多灵活性。 Dover motion XY线性定位平台,单双轴线性定位台, SmartStage™ XY性能: 精确的高性能运动控制,以及支持的专用软件工具,适用于最苛刻的应用需求。 卓越的性价比:通过创新的专利系统架构实现。 长寿命:安静的无刷线性电机、非接触式编码器、交叉滚柱线性轴承。 可选项: 50x50mm 和 75x75mm 行程长度 可选

应用

对于需要高刚性的精确高通量成像应用,SmartStage™ 一体式平台凭借刚性交叉滚柱轴承和集成的 XY 一体式结构,满足了这一需求。

  • 医疗样品运动

  • 显微镜应用

  • 微电子组装与检测

  • 激光加工

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