Logosol半导体晶圆预对准器LPA26-3-V23P1-S23-B-V500P,晶圆搬运和定位
Logosol半导体晶圆预对准器LPA26-3-V23P1-S23-B-V500P,晶圆搬运和定位

独立
用于 45 毫米 – 480 毫米物体高精度对准的自主设备,包括方形和双层基板,无需机械重新定位即可单单元处理多种尺寸的物体,卡盘加载和销钉加载模式,以及高精度选项。
嵌入式
用于高速晶圆传输系统的经济型中心计算和角度定向设备,具有对 45 毫米 – 480 毫米物体的对准能力,可与任何市售机器人轻松集成。提供高精度和卡盘尺寸/材料选项。
边缘处理
创新的自主设备,采用零抓取力的无源边缘接触,这是 Logosol 边缘抓取预对准技术的替代方案,可确保无晶圆应力和最大的清洁度,用于处理 75 毫米 – 300 毫米的物体。标准和高精度型号。
快速交换
高通量预对准器具有基于专有设计的快速交换功能,允许晶圆卡盘负载低于引脚水平。
Logosol 广泛的预对准器产品系列的基础是我们内部设计和开发的技术,从硅和机械设计到运动控制和软件。这种垂直整合,加上我们 30 年来为各种应用开发众多预对准器的经验,使我们能够为标准型号无法满足其规格的客户提供解决方案。
Logosol晶圆定位台,45毫米-480毫米高精度对准,LPA26-3独立预对准器,晶圆角度定向仪

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