洪水源 FS 40A1 电子枪电子驱动源半导体电荷中和 XPS AES SIMS

低成本电子驱源，用于XPS/AES和SIMS应用中绝缘体或半导体的电荷中和。洪水源在两个能量范围内运行，完全由软件控制，还可以提供定制的插入长度（145 – 421 mm，其他根据要求）和屏蔽材料，例如 mu-金属、铜。数据规格：

安装法兰	DN 40CF（不可旋转）
能量范围	0.01 – 1000 eV
采样电流	高达 100 μA
阴极类型	钍钨
屏蔽	铜（用于μ金属腔室）或μ金属（用于不锈钢腔室）
插入长度	最小 145 毫米（可根据要求提供其他），外径：33.6 毫米（μ金属），35 毫米（铜）
FWHM	取决于工作距离（例如 10 mm 对距离 30 mm）
典型工作距离	20-100 毫米
烘烤温度	最高 250°C
工作压力	< 5 × 10^-6毫巴

特征：

高电子束电流
可选能量范围
稳定排放
光束轮廓控制

选项：

线性移位
定制插入长度
源屏蔽材料（μ金属或铜）

洪水源电源 FS40-PS 带触摸屏的新电源专用于洪水源 FS40A1。所有可调参数都显示在带触摸屏的大型TFT显示屏上。所有设置都可以手动调整，也可以在设备打开后自动存储和调用。该装置还具有内置定时器和自动待机模式。FS40-PS 可作为全宽 19“ 机架安装单元（3U 高）或独立式提供。设备可以通过其中一个可用接口进行远程控制。该装置还可以使用模拟接口远程控制光束能量、发射电流、聚焦和提取器电压。自动保存功能，用于保存参数/单位预设并在重新启动后自动应用它们。

技术规格：

电源电压	100 V – 240 V，50/60 Hz （最大功耗 75 W）
光束能量（低能量范围）	0.01 – 50 eV，分辨率 0.01 eV
光束能量（高能量范围）	50 – 1000 eV，分辨率 0.1 eV
发射电流	1 – 1000 μA，分辨率 0.1 μA
聚焦电压	300 – 1000 V，分辨率 0.1 V
提取器电压	0 – 150 V，分辨率 0.1 V
模拟输入	4 （0-10V）
定时器	双模定时器 0s – 99h 59m
通信接口	RS232/485，以太网
通信协议	MODBUS-TCP
用户界面	7“ TFT 显示屏，带触摸屏，数字编码器
界面语言	英语，德语，波兰语
尺寸	483 x 133 x 435 mm（宽 x 高 x 深），19“ 机架安装或单独安装
重量（大约）	5.2 千克