离子源 IS 40C1 离子枪 高离子束电流 用于样品表面清洁 具有高斯光束轮廓
紧凑、易于使用的提取器类型,用于样品表面清洁。源产生 >70 μA/cm 的离子电流2(氩气)具有高斯光束轮廓。源插入长度可根据个性化要求进行调整(在 62.5 mm – 384.5 mm 之间,其他可根据要求提供)。
技术规格:
安装法兰 |
DN 40CF(不可旋转) |
能量范围 |
0.12 keV – 5 keV |
电流密度 |
> 120 μA/cm2(距离 30 mm 时) |
阴极类型 |
氧化钇涂层铱丝 |
插入长度 |
最小 62.5 mm,其他根据要求
外径:最大 37 mm |
FWHM |
取决于离子能量和工作距离
(例如,3 mm 对距离 30 mm) |
典型工作距离 |
30 – 250 毫米 |
烘烤温度 |
最高 250°C |
工作压力 |
10-5– 10-6毫巴 |
特征:
- 使用惰性(Ar)和反应气体(O2, H2,寿命缩短的碳氢化合物)
- 高离子束电流
- 使用寿命长
- 高稳定性
选项:
离子源电源IS40-PS
高稳定性和低噪音电源,可配置为与IS40C1或IS40E1离子源配合使用。
离子源 IS 40E1 模式
IS40-PS 电源驱动 IS40E1 扫描离子源。它允许微调主光束能量、离子密度和光束轮廓(通过调整提取器、聚焦透镜、偏转和定位元件)。通过数字编码器最多可改变 4 个参数。每个参数的当前状态显示在大型前面板LCD显示屏上。所有设置都可以手动调整,也可以在设备打开后自动存储和调用。该装置还具有内置定时器和自动待机模式。通过 USB 端口轻松更新固件。设备可通过RS232/485或以太网接口进行远程控制。自动保存功能,用于保存参数/单位预设并在重新启动后自动应用它们。
提供维恩过滤器选项。
离子源 IS 40C1 模式
IS40-PS 电源驱动 IS40C1 离子源,用于大面积 UHV 样品清洁和制备。IS40-PS 电源允许通过数字编码器微调光束能量和离子密度。所有设置都可以手动调整,也可以在设备打开后自动存储和调用。该装置还具有内置定时器和自动待机模式。通过 USB 端口轻松更新固件。设备可通过RS232/485或以太网接口进行远程控制。自动保存功能,用于保存参数/单位预设并在重新启动后自动应用它们。
技术规格:
电源电压 |
100V – 240V,50-60Hz
(最大功耗250W) |
定时器 |
双模式定时器,0 秒 – 99 小时 59 分钟 |
真空测量(可选) |
CTR90, TTR91, TTR211, PTR225, PTR90, ITR90, ITR100, Baratron, 模拟输入, MKS937A, PG105, MG13/14, PKR251/360/361, PCR280, ATMION |
用户界面 |
7“ TFT 显示屏,带触摸屏,数字编码器 |
通信接口 |
RS232/485,以太网 |
通信协议 |
MODBUS-TCP |
界面语言 |
英语, 德语, 波兰语 |
尺寸 [毫米] |
483 x 133 x 437 mm(宽 x 高 x 深),19“ 机架安装 |
规格(IS40E1 模式)
光束能量 (E) |
0 – 5 keV,分辨率 0.01 keV,纹波 < 0.2 VPP |
发射电流(Ie) |
0.01 mA – 10 mA,分辨率 0.01 mA |
焦点 (1,2) 电压 |
0 – 5000 V,分辨率 1 V,纹波 < 0.2 VPP |
提取器电压(Ex) |
60 – 100% 能量,分辨率 0.1%,纹波< 0.2 VPP |
光束位置(像素、像素) |
-5 毫米至 5 毫米,分辨率 0.01 毫米 |
扫描区域(Δx、Δy) |
10 毫米 x 10 毫米,分辨率 0.01 毫米 |
扫描速度(时间/点) |
20 μs – 30 ms |
重量(大约) |
12 公斤 |
规格(IS40C1 模式)
光束能量(U英) |
0.00 keV – 5.00 keV,分辨率 0.01 keV,纹波< 200 mV |
发射电流(Ie) |
0.01 mA – 10 mA,分辨率 0.01 mA |
重量(大约) |
9.2 千克 |
选项:
– 软件控制(专业版、扩展版或库模块)
– 用于真空测量的模拟量 I/O 卡(1 个仪表)
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