波兰 PREVAC MBE分子束外延设备 Advanced MBE systems，适用于单晶的薄膜沉积，具有磁性能、形貌、晶体学、薄膜厚度等原位表征功能

波兰 PREVAC MBE分子束外延设备 Advanced MBE systems是一款用于薄层生长技术的先进多室平台，旨在与其他表面科学技术、辅助实验室设备和任何配件实现最大兼容性。 MBE分子束外延设备多功能模块化设计允许平台轻松扩展，并与任何其他沉积、分析或制备高压/超高压装置集成，例如通过径向分布或隧道传输系统。 MBE分子束外延设备Advanced MBE systems适用于单晶的薄膜沉积，具有磁性能、形貌、晶体学、薄膜厚度等原位表征功能。 PREVAC MBE分子束外延设备 Advanced MBE systems可包含10个用于蒸发源的端口，衬底台适用于直径高达8英寸的样品，并可选择加热和旋转。沉积过程可以在较宽的温度范围内（从LN2到1400˚C）进行控制，并且可以通过PLC控制器进行完全的软件编程和控制。 PREVAC MBE分子束外延设备 Advanced MBE systems配有超高压标准的连接法兰，用于连接当前和未来的设备，包括：最多10个带法兰DN 63CF（高温或低温、单丝或多丝）的光源，带法兰DN 63CF的独立百叶窗，带有电源的阀式裂解器源，带电源的大功率电子枪，具有温度范围（从LN2到1400˚C）的基板操纵器，泵送系统（基于备用泵、TMP、离子泵和TSP泵），带设备的真空计，用于线性传输系统的入口，例如来自负载锁、径向分配室、传输通道或传输箱的入口，带Z操作器的石英天平， RHEED/TorrHEED带设备，用于相邻层或掩模的电动或手动快门（跟随衬底），额外的气体配量系统，例如用于反应沉积过程，视口–带百叶窗的观察窗，残余气体分析仪，光束通量监测器，诊断设备的加热视口。最终设计和功能取决于系统配置。该系统的模块化设计允许通过径向分布传输解决方案或传输隧道与任何其他研究平台进行组合和集成。