Logosol预对准器, LPA晶圆预对准器,18英寸晶圆定位台,晶圆寻边台

Logosol预对准器, LPA晶圆预对准器,18英寸晶圆定位台,晶圆寻边台独立式12-18英寸晶圆处理

用于对 45 毫米 – 480 毫米物体（包括方形和双层基板）进行高精度对准的自主设备，具有无需机械重新定位的单单元处理多种尺寸物体、卡盘负载和销钉负载模式以及高精度选项。 Logosol LPA晶圆预对准器,18英寸晶圆定位台,晶圆寻边台创新、高性能、兼容1类标准独特的集成式设计省去了外部控制器和连接线，同时仍保持可即插即用的兼容性。包含扫描电子设备、运动控制器以及电源供应装置，其尺寸符合行业标准规格。由超低惯性无刷电机驱动，实现平稳、即时的响应效果先进的扫描电子设备能够检测透明、半透明和不透明的物体，且无需在不同尺寸之间进行机械重新定位。与晶圆搬运机器人实现无缝对接，能够处理从45 毫米到 480毫米的各种晶圆尺寸，以及相应尺寸的方形基板。 Logosol控制软件集成了全面的一系列指令，能够实现与多种半导体平台的兼容性及接口连接。快速的对齐周期时间有助于实现系统的最大吞吐量。既可以作为独立设备使用，也可以作为与晶圆搬运机器人协同工作的嵌入式设备使用。保留方式包括真空式、非真空式以及边缘处理方式。 Logosol LPA系列晶圆预对准器处理12英寸-18英寸晶圆高精度对准

Logosol 久经考验的技术和高标准的可靠性是业内最广泛的预对准器系列的基础。预对准器产品系列支持处理 45 毫米至 480 毫米的物体，具有从不透明到完全透明的任何透明度级别。Logosol 独特的一体化设计和多功能控制软件可实现直接兼容性并与各种半导体平台进行接口。