瑞典PiezoMotor Piezo LEGS® LT40直线压电电机 40N高精度直线驱动器

40N 真空兼容、非磁性直线驱动器

Piezo LEGS® LT40 直线压电驱动器专为 OEM 应用设计,专注于在磁场、真空或常温常压(NTP)环境中实现大负载的精确位置控制。

40N 高精度直线驱动器。提供真空兼容和非磁性版本

Acuvi Piezo LEGS 直线 40N 压电电机,强力承载 40N 推力。亚纳米级分辨率。

采用的驱动技术为直接驱动,无需齿轮或丝杠即可产生直线运动。电机通过微步进方式运行,将完整波形步进细分为亚纳米级增量。速度范围可从每秒数纳米至每秒数毫米,并能在整个动态范围内实现平滑控制。此外,它在紧凑的机身内提供了高推力输出,堵转力达 40N,重量仅 61 克。 该电机无背隙,且在保持位置时不消耗功率。

提供三种版本:适用于常规环境的标准不锈钢版 (A)、非磁性版 (C) 以及非磁性真空版 (D)。 每个版本均可选择 M1 或 M2 安装方式。

它是半导体制造设备的绝佳选择,适用于晶圆切割与抛光、光刻、离子注入以及晶圆检测与计量。 Piezo LEGS® LT40 也用于医疗技术行业,如药物输送系统、手术工具与机器人、诊断与成像设备以及医用材料搬运。

Piezo LEGS® LT40 规格参数

类型 标准版 (A) 非磁性版 (C) 非磁性真空版 (D) 单位
最大行程 67 毫米
最大速度 取决于驱动器 毫米/秒
最小速度 取决于驱动器 纳米/秒
堵转力 40 牛 (N)
保持力 >40 牛 (N)
真空兼容性
非磁性
工作电压 42-48 伏 (V)
功耗 20 毫瓦/赫 (mW/Hz)
机械尺寸 L×H×D(带导轨和编码器) 不适用 毫米
机械尺寸 L×H×D(无导轨和编码器) 32.1 × 24.2 × 23.1 毫米
重量(带50毫米驱动杆) 61
电机外壳材质 不锈钢 Arcap/非磁性合金
推荐工作温度 -20 至 +70 摄氏度 (ºC)
电机连接器 2 × JST BM05B-SRSS-TB 焊接电缆 2 × JST 05SR-3S
编码器连接器 不适用
电机分辨率 <1 纳米 (nm)
内置编码器
编码器分辨率 不适用 纳米 (nm)

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