Thermionics Northwest, Inc. DE-14-GLAD E-beam Depo

Thermionics Northwest, Inc. DE-14-GLAD E-beam Deposition System

*Custom chamber frame, 304 SST construction

*Belt driven, manual actuation hoist

*14" O.D. custom chamber and shielding, 304 SST construction

*HCR rotary e-Gun, 4-pocket, 7 cc

*Two (2) turbo molecular pump

*Magnetically coupled linear rotary F/T, 36" stroke

*Dual axis tilt stage

*Custom load-lock chamber

*Deposition rate controller

*Manipulator substrate stage

*Ion-source gauge

*Two pneumatic shutter, 3" stroke, molybdenum shutter plate

*Rotary vane pump

*Convectron gauge

*Two (2) viewports

Thermionics Northwest, Inc. DE-14-GLAD E-beam Deposition System

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